日本OTSUKA大塚顯微分光膜厚計(jì)OPTM系列

日本OTSUKA大塚顯微分光膜厚計(jì)OPTM系列

日本OTSUKA大冢顯微分光膜厚計(jì)OPTM系列是一款集高精度、高速度與多功能性于一體的光學(xué)測(cè)量設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、顯示面板、光學(xué)材料及薄膜制造等領(lǐng)域。

核心技術(shù)與原理?

OPTM系列基于顯微分光干涉法，通過(guò)測(cè)量薄膜表面與基板界面反射光的光程差產(chǎn)生的干涉現(xiàn)象，結(jié)合紫外至近紅外波段的光譜分析，精確計(jì)算膜厚、折射率（n）和消光系數(shù)（k）。其的反射對(duì)物鏡技術(shù)可物理消除透明基板背面反射光的干擾，即使面對(duì)玻璃等透明基板，仍能實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。此外，設(shè)備支持多層膜解析（最多50層），并可分析具有光學(xué)異向性的材料（如SiC），確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。

性能參數(shù)與型號(hào)選擇?

OPTM系列提供三款型號(hào)：OPTM-A1（波長(zhǎng)230-800nm，膜厚1nm-35μm）、OPTM-A2（波長(zhǎng)360-1100nm，膜厚7nm-49μm）、OPTM-A3（波長(zhǎng)900-1600nm，膜厚16nm-92μm）。設(shè)備采用CCD或InGaAs感光元件，搭配氘燈與鹵素?zé)綦p光源，確保光譜覆蓋范圍廣。單點(diǎn)測(cè)量?jī)H需1秒，光斑直徑最小可達(dá)3μm，支持微區(qū)測(cè)量，最小測(cè)量區(qū)域直徑僅10μm，適用于晶圓、FPD等復(fù)雜表面分析。

功能特點(diǎn)與用戶體驗(yàn)?

OPTM系列具備非接觸、非破壞性測(cè)量?jī)?yōu)勢(shì)，量測(cè)頭可自由集成至客戶系統(tǒng)，滿足在線檢測(cè)需求。軟件界面直觀，提供初學(xué)者解析模式，簡(jiǎn)化復(fù)雜建模流程，即使新手也能快速完成光學(xué)常數(shù)分析。設(shè)備標(biāo)配自動(dòng)XY平臺(tái)，支持多點(diǎn)坐標(biāo)輸入與實(shí)時(shí)厚度分布圖生成，平臺(tái)尺寸達(dá)200mm×200mm，可檢測(cè)12寸晶圓。此外，設(shè)備通過(guò)NIST認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)樣品校準(zhǔn)，確保測(cè)量結(jié)果可追溯，精度達(dá)±0.2%，重復(fù)性0.1nm。

應(yīng)用場(chǎng)景與行業(yè)價(jià)值?

在半導(dǎo)體領(lǐng)域，OPTM系列可精確測(cè)量SiO?、SiN等絕緣膜及光刻膠厚度，助力工藝控制；在顯示面板制造中，設(shè)備可分析ITO薄膜、彩色抗蝕劑（RGB）及OLED封裝材料厚度，確保顯示質(zhì)量；在光學(xué)材料與薄膜行業(yè)，設(shè)備支持AR膜、HC膜、DLC涂層等材料的厚度與光學(xué)常數(shù)分析，為產(chǎn)品性能優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支撐。