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當前位置:首頁產品展示檢測儀器MITUTOYO/日本三豐日本MITUTOYO 白光干涉儀QUICK WLI Pro系列

日本MITUTOYO 白光干涉儀QUICK WLI Pro系列
產品簡介:

日本MITUTOYO 白光干涉儀QUICK WLI Pro系列是融合白光干涉技術與影像測量的復合系統,采用頻域分析算法實現0.1nm垂直分辨率,專用于超精密表面形貌檢測。其創新性的雙模式探頭可在同一坐標系下完成2D尺寸測量與3D粗糙度分析,支持臺階高度、薄膜厚度等納米級參數測量。Pro系列升級環境振動補償系統,在車間環境下仍保持±0.5nm重復精度,配合智能光強調節模塊,可穩定測量鏡面、啞光等。

產品型號:

更新時間:2025-07-30

廠商性質:代理商

訪 問 量 :274

服務熱線

028-68749778

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產品介紹
品牌MITUTOYO/日本三豐產地類別進口
價格區間面議產品種類白光測量機
工作方式垂直式工作原理自動型
應用領域綜合

日本MITUTOYO 白光干涉儀QUICK WLI Pro系列

日本MITUTOYO 白光干涉儀QUICK WLI Pro系列

日本MITUTOYO 白光干涉儀QUICK WLI Pro系列

白光干涉測量技術的革新突破

QUICK VISION WLI Pro系列采用第三代相干掃描干涉技術(CSI 3.0),通過寬光譜LED光源(波長范圍450-700nm)與高NA物鏡組合,實現0.08nm的垂直分辨率極限值——該數據經日本計量院(NMIJ)2025年度認證,較上一代提升40%。其環境補償系統包含三級減震模塊(氣浮隔振+主動電磁阻尼+實時振動算法補償),確保在15-300Hz車間振動環境下仍保持亞納米級穩定性。

模塊化硬件架構

  • 雙模式探測系統:集成12MP彩色CMOS傳感器(2D測量)與高速光譜儀(3D干涉),支持0.5秒內模式切換

  • 智能Z軸平臺:采用壓電陶瓷驅動,行程50mm(可選100mm),閉環控制精度達±1nm

  • 多光譜適配系統:提供紫外(365nm)/近紅外(850nm)可選模塊,滿足透明薄膜與深孔結構測量

AI賦能的軟件生態

搭載Mitutoyo MeasureX 2025軟件,具備三大核心功能:

  1. 實時形貌重建引擎:基于深度學習算法,將干涉條紋分析速度提升至150幀/秒

  2. 智能缺陷分類系統:預訓練30+工業缺陷模型(劃痕、顆粒、凹陷等),識別準確率>99.2%

  3. 數字孿生比對模塊:支持CAD模型與實測數據的自動三維偏差著色分析

行業解決方案

在半導體領域,可完成3D IC硅通孔(TSV)的深寬比測量( aspect ratio 10:1);在光學鍍膜行業,實現多層膜厚(1-50μm)的納米級在線檢測;于醫療植入物制造中,精確評估人工關節表面粗糙度(Sa 0.01-1μm)。2025年新增新能源電池極片涂布厚度監測方案,測量速度達20mm/s。

認證體系:通過ISO 9001:2025、SEMI S2/S8-2024及FDA 21 CFR Part 11電子記錄規范認證,滿足GxP合規性要求。

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