產(chǎn)品型號：
更新時間：2025-07-26
廠商性質(zhì)：代理商
訪 問 量 ：267
028-68749778
產(chǎn)品分類
| 品牌 | MITUTOYO/日本三豐 | 產(chǎn)地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 產(chǎn)品種類 | 龍門式 |
| 工作方式 | 垂直式 | 工作原理 | 自動型 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
日本MITUTOYO小型?高精度掃描探針 SP25M
日本MITUTOYO小型?高精度掃描探針 SP25M
SP25M采用革命性的三級減震架構(gòu)：（1）陶瓷基座內(nèi)置空氣阻尼器，衰減環(huán)境振動達90%；（2）鈦合金探針臂重量僅0.8g，較傳統(tǒng)鋼制結(jié)構(gòu)減輕65%；（3）納米級預(yù)緊力調(diào)節(jié)機構(gòu)，通過0.01N·m扭矩螺絲實現(xiàn)測針夾持微調(diào)。這種設(shè)計使探頭整體尺寸控制在Φ3.2×15mm，為目前同精度等級最小體積。
核心測量模塊包含：
光學(xué)編碼器：采用衍射光柵技術(shù)，分辨率達0.5nm
電容式位移傳感器：帶寬1kHz，響應(yīng)時間<0.5ms
溫度補償單元：內(nèi)置4個PT100傳感器，實時修正熱變形誤差
測試數(shù)據(jù)顯示，在ISO Class 4潔凈環(huán)境下，對硅晶圓標準片進行100次重復(fù)測量，Z軸標準偏差僅為1.2nm（依據(jù)ISO 4287標準）。
在豐田汽車噴油嘴檢測項目中：
測量對象：Φ0.12mm微孔內(nèi)壁粗糙度
對比設(shè)備：傳統(tǒng)接觸式輪廓儀
SP25M優(yōu)勢：
測量時間縮短40%（單孔3分鐘→1.8分鐘）
數(shù)據(jù)完整性提升（可獲取傳統(tǒng)設(shè)備無法觸及的底部30%區(qū)域）
劃傷率降至0.1%以下
通過標準化接口（符合ISO 9409-1）可快速對接：
三豐CV-3200輪廓儀（需選配MNT-20適配器）
蔡司O-INSPECT多傳感器測量機
基恩士VHX-6000數(shù)字顯微鏡
典型配置包含：
SP25M探頭本體 ×1 R0.1μm金剛石測針 ×3 校準證書（JIS B 7506） ×1 防震運輸箱（IP67） ×1
日常維護：每周用超純乙醇清潔測針接觸面
周期校準：建議每500小時或溫度變化>5℃時進行
壽命指標：
測針：50萬次接觸（R0.1μm規(guī)格）
傳感器：≥3年（基于加速老化試驗）
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